集成電路塊用超純水設備

文章來源：福州科境水處理工程有限公司作者：福州科境水處理發表時間：2015-10-10 09:52:00

 一、集成電路塊用超純水設備概述

　　隨著電子行業的迅速發展，對集成電路塊的生產用水要求也越來越高。集成電路的質量越高，對水質的要求就越嚴格。集成電路塊用超純水設備是根據電子行業的特殊要求設計并生產的一款水處理設備，用戶可以根據自己實際的生產需要，調整設備的出水量。超純水設備自動化程度高、運行穩定、品質有保證。集成電路塊用超純水設備廣泛的應用在大型工業、電子領域。

　　二、集成電路塊用超純水設備的優勢說明

　　(1)系統采用最新水處理技術單級RO混床模塊化設計，嚴格按最新技術設計標準，確保水質穩定，長效運行。

　　(2)通過專業技術設計，確保系統短時停機及長時間停機時水質保持穩定。

　　(3)通過專業技術保證終端出水恒壓、水質穩定。

　　(4)通過完善的技術，最大限度的提高系統回收率，降低能耗和運行成本。

　　(5)采用CPA3-LD超低壓膜，運行穩定，能耗低。

　　(6)采用PH調節系統。

　　(7)配備專門的有化學清洗系統，可定期對反滲透進行化學清洗，以確保系統穩定運行。

　　(8)配備濃水置換專業技術，防止膜系統受到微生物污染。

　　(9)采用PLC加觸摸屏控制系統，并采用進口電氣原件，操作方便，運行穩定。

　　(10)主題材料全部采用行業內國際知名品牌，保質保量，并按最佳配置設計。

　　三、集成電路塊用超純水設備各部件功用

　　1)、原水箱，功用：貯存系統原水，對進水起調節作用，也對進水中的雜質起一定的沉淀作用。

　　2)、砂濾器，功用：初步去除水中泥沙、雜質、懸浮物以及其它微粒等降低水的濁度。

　　3)、碳濾器，功用：利用碳的吸附原理吸附水中異色、異味、余氯等。

　　4)、保安過濾器，功用：防止大顆粒雜質進入反滲透膜，造成對膜的損壞，保護反滲透膜。

　　5)、PH調節,功用：通過加堿調節，調節二級反滲透進水PH值在8左右，以脫除CO2，保證二級反滲產水水質，確保EDI產水及終端產水的穩定。

　　6)、一級純水箱，功用：儲存反滲透產水，為二級反滲透系統提供水源。

　　7)、雙級反滲透主機，功用：主要是通過反滲透過濾，達到生產純水之目的(二級反滲透能最大程度確保產水水質，使EDI產水水質更穩定及核能樹脂的使用壽命更長)。

　　8)、CEDI系統，功用：CEDI系統又稱連續電除鹽技術，通過陽陰離子膜對陽陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現水中離子的定向遷移，從而達到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續再生。

　　9)、紫外線殺菌器，功用：通過紫外線殺死水中細菌，確保水質。

　　10)、膜濾器功用，功用，濾除紫外線殺死的細菌及其它微粒。

　　11)、雙級核能混床，功用：進一步去除水中的離子，使產水水質達到18MΩ·CM。

　　12)、TOC脫除器，功用：脫除水中的TOC，確保水質。

　　13)、終端0.1μm膜濾器，功用：杜絕有顆粒物時入超純水使用點。

　　四、集成電路塊用超純水設備的工藝流程

　　1、采用雙級級反滲透方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH調節→中間水箱→第二級反滲透→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

　　2、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

　　五、集成電路塊用超純水設備水質標準

　　六、影響集成電路塊用超純水設備運行的因素

　　(1)EDI進水電導率的影響。在相同的操作電流下，隨著原水電導率的增加EDI對弱電解質的去除率減小，出水的電導率也增加。如果原水電導率低則離子的含量也低，而低濃度離子使得在淡室中樹脂和膜的表面上形成的電動勢梯度也大，導致水的解離程度增強，極限電流增大，產生的H+和OH-的數量較多，使填充在淡室中的陰、陽離子交換樹脂的再生效果良好。

　　(2)工作電壓-電流的影響。工作電流增大，產水水質不斷變好。但如果在增至最高點后再增加電流，由于水電離產生的H+和OH-離子量過多，除用于再生樹脂外，大量富余離子充當載流離子導電，同時由于大量載流離子移動過程中發生積累和堵塞，甚至發生反擴散，結果使產水水質下降。

　　(3)濁度、污染指數(SDI)的影響。EDI組件產水通道內填充有離子交換樹脂，過高的濁度、污染指數會使通道堵塞，造成系統壓差上升，產水量下降。

　　(4)硬度的影響。如果EDI中進水的殘存硬度太高，會導致濃縮水通道的膜表面結垢，濃水流量下降，產水電阻率下降;影響產水水質，嚴重時會堵塞組件濃水和極水流道，導致組件因內部發熱而毀壞。

　　(5)TOC(總有機碳)的影響。進水中如果有機物含量過高，會造成樹脂和選擇透過性膜的有機污染，導致系統運行電壓上升，產水水質下降。同時也容易在濃縮水通道形成有機膠體，堵塞通道。

　　(6)Fe、Mn等金屬離子的影響。Fe、Mn等金屬離子會造成樹脂的“中毒”。樹脂的金屬“中毒”會造成EDI出水水質的迅速惡化，尤其是硅的去除率迅速下降。另外變價屬對離子交換樹脂的氧化催化作用，會造成樹脂的永久性損傷。

　　(7)進水中CO2的影響。進水中CO2生成的HCO3-是弱電解質，容易穿透離子交換樹脂層而造成產水水質下降。

　　(8)總陰離子含量(TEA)的影響。高的TEA將會降低EDI產水電阻率，或需要提高EDI運行電流，而過高的運行電流會導致系統電流增大，余氯濃度增大，對極膜壽命不利。

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